【招标公告】微纳光学实验室特气系统-分散式气动控制器采购公告

南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2026-00278
竞采采购公告

项目名称	微纳光学实验室特气系统-分散式气动控制器
项目编号	SUSTech-JC-2026-00278
项目类型	货物类
成交方式	最低价成交
采购方式	公开竞采
公告开始时间	2026-09-03 18:43:36
公告结束时间	2026-09-10 18:43:36
预算(元)	***.00
项目预算是否含税	国产含税
备注

采 购 明 细
	序号	名称	数量	单位
	1	分散式气动控制器（核心货物）	1	套
	是否接受进口 拒绝进口 品牌 LAURELL、SPS、Ramgraber 型号 WS-650Hz-8NPPB、SPIN200X、M-Spin200 技术规格及参数 1、系统概述 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； 1.3 设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接1.5双向马达，可正反转。 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于12.5英寸 (318毫米)； 2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-205mm直径的材料，方片175x175mm； 2.3 需满足各种尺寸的超薄或软性基底材质使用，圆形基底尺寸分别为直径8/13/18/23mm，晶圆直径2/4/6/8英寸； 2.4 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质。 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm； 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%。 4、控制系统 4.1 工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s； 4.2 配有高精度PLC可编程的控制器； 4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态。 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹； 5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于0.7 SCFM (0.02立方米/分钟) 。 6、系统附件 6.1 免费配备基于Windows的操作软件； 6.2 原装进口水平测试仪； 6.3 两袋密封圈（每袋不少于5个）； 6.4 配有两套可更换的废液接收单元； 6.5 带晶圆中心对准工具适合直径100/125/150/200mm圆片居中； 6.6 配备适合2/4/6/8英寸超薄或软性基底的定制型蜂窝托盘各1个； 6.7 配备适合8/13/18/23mm超薄或软性基底的样品支架各1个。 质保期 收货之日起一年质保 售后要求 1、供方产品经需方入库后，如在生产中发现不良情况，供方必须无条件退货或返修，并按需方要求的时间将合格产品送达需方指定收货地点。 2、产品经需方验收合格后供方免费保修12个月，保修期后供方仍需提供有偿维修。
	付款方式	合同生效并甲方收到乙方开具相应发票之日起（20）个工作日内支付合同总额的（70）%作为进度款。甲方应在货物交付、安装调试、试运行及验收合格之日起（20）个工作日内向乙方支付本合同价款总额的（30）%。
	交货期	合同签订后90天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前7天（自然日）通知送货

1. 欢迎有意向的供应商登录系统参与竞采；
2. 未注册 的供应商请先注册 成为竞采平台供应商后参与项目竞采；
3. 如对项目有疑问或质疑，请于项目截止前1个工作日登录系统在线提交咨询或质疑，逾期不受理。