【招标公告】关于深圳大学有机-金属真空热蒸镀仪采购的更正公告

所属地区:广东深圳市 发布日期:2025-04-18

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基本信息

地区 广东 深圳市 采购单位 深圳大学
招标代理机构 深圳交易集团有限公司政府采购业务分公司 项目名称 深圳大学有机-金属真空热蒸镀仪采购
采购联系人 *** 采购电话 ***
关于深圳大学有机-金属真空热蒸镀仪采购的更正公告
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号:SZCG2025000240
原公告的采购项目名称:深圳大学有机-金属真空热蒸镀仪采购
首次公告日期:2025年04月08日
二、更正信息
更正事项:采购文件
更正内容:
序号
招标文件对应位置
更正前
更正后
1
第三章 用户需求书
四、技术要求
 
1.1样品架系统
★1.1.1可容纳数量大于或等于4个,尺寸大于或等于32mm*32mm的蒸镀基片。
1.1样品架系统
★1.1.1可容纳数量大于或等于4个,尺寸大于或等于32mm*32mm的蒸镀基片,膜厚均匀性误差≤±2%
1.2蒸发沉积系统
★1.2.1 蒸发沉积系统≥16组蒸发源,可兼容蒸镀金属和有机材料;源与源之间配有隔板,防止源与源之间的污染和温度影响;
1.2蒸发沉积系统
★1.2.1 蒸发沉积系统≥16组蒸发源,每个源可兼容蒸镀金属和有机材料;源与源之间配有隔板,防止源与源之间的污染和温度影响;
▲1.2.5石英晶振探头≥5个,采用的膜厚仪可同时显示≥5个膜厚探头的读数
▲1.2.5石英晶振探头≥5个,采用的膜厚仪可同时显示≥5个膜厚探头的读数,速率稳定性误差≤±2%
★1.3.5极限真空度≤4*10-5Pa
★1.3.5极限真空度≤2.5*10-5Pa
▲1.3.6从101Kpa到5×10-4Pa≤20min(充氮气保护,从手套箱内操作)。
▲1.3.6从101Kpa到3×10-4Pa≤10min(充氮气保护,从手套箱内操作)。
1.5手套箱系统
★1.5.1可得气体纯度:水≤1ppm,氧≤1ppm,泄露率≤0.001vol%/h。
1.5手套箱系统
1.5.1箱体材料:304 不锈钢,厚度≥3mm;设备尺寸:长度≥5600mm,深度≥750mm,高度≥900mm。
1.5.2可拆卸的钢化玻璃视窗,钢化玻璃厚度≥8mm,视窗与箱体之间的密封使用双层密封。
1.5 3  ≥12个丁基橡胶手套,铝合金手套口(由实心棒材加工而成,原色氧化)
1.5.4  ≥3套箱体照明,具备自动开关功能
1.5.5过渡仓,可拆卸,尺寸:直径≥Φ370mm,长度≥600mm,通过在触摸屏上点触启动按键,过渡舱可自动完成多次抽充程序。
1.5.6 ≥3个小过渡仓,焊接在箱体上,尺寸:直径≤Φ150mm,长度300mm,小过渡舱门杠杆密封,不接受卡扣按压式小仓门。
1.5.7气体纯化柱:≥4个纯化柱
1.5.8  ≥4个显示系统,安装在箱体上
1.5.9循环方式:循环根据设定指标,自动开启和关闭。
1.5. 10百级除尘系统:≥1个,除尘系统上装有空调,控制箱体内温度。
1.5.11泄露率≤0.02vol%/h
1.5.12  H2O≤1ppm ,O2≤1ppm
1.5.13氧分析仪:燃料电池,量程范围:包含0-1000ppm,精度≤0.2ppm。
1.5.14水分析仪:量程范围:包含-100至20露点,屏幕上面ppm和露点自由切换。
2
第三章 用户需求书
五、商务要求
★1.1 交货时间:
从中华人民共和国关境内提供的货物:签订合同后  90  天(日历日)内。
★1.1 交货时间:
从中华人民共和国关境内提供的货物:签订合同后  30 天(日历日)内。
3
评标信息
技术要求偏离情况
 
(一)评分内容:投标人应如实填写《技术要求偏离表》,评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分,各项技术参数指标及要求全部满足的得100分,所有标注“▲”的重要参数每项负偏离一扣10分,一般参数每负偏离一条扣5分,扣完为止。
(一)评分内容:投标人应如实填写《技术要求偏离表》,评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分,各项技术参数指标及要求全部满足的得100分,所有标注“▲”的重要参数每项负偏离一扣12分,一般参数每负偏离一条扣2分,扣完为止。

招标文件技术要求偏离表以及商务要求偏离表已对应修改,以更正后的招标文件为准。
更正日期:2025年04月17日
三、其他补充事宜
 请投标人按照更正后的招标文件编制投标文件。本项目无其它补充事宜。
四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称:深圳大学
地址:深圳市南山区南海大道3688号
联系方式:***
2.采购实施机构信息
名称:深圳交易集团有限公司政府采购业务分公司
地址:深圳市南山区沙河西路3185号南山智谷A座(深圳交易集团总部大楼)27楼
联系方式:0755-86580001、0755-86580002
3.项目联系方式
项目联系人:***
电话:***
深圳公共资源交易中心
深圳交易集团有限公司政府采购业务分公司
2025年04月17日

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