【招标结果】全自动薄膜沉积设备竞价项目成交公告
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基本信息
| 地区 | 广东 深圳市 | 采购单位 | 华南理工大学 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 全自动薄膜沉积设备 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
中标信息
| 中标单位 | 中标金额 | *** | |
| 联系方式 | *** |
一、采购需求信息
全自动薄膜沉积设备
| 项目号 | HW2023000528 | ||||||||||||||||||
| 设备品目类别 | 真空获得设备 | 设备用途 | 科研 | ||||||||||||||||
| 竞价开始时间 | 2023-11-13 09:05:35 | 竞价结束时间 | 2023-11-15 09:05:00 | ||||||||||||||||
全自动薄膜沉积设备
| 商品名称 | 全自动薄膜沉积设备 | 品牌/厂家 | 沈阳麦科诺 | ||||||||||||||||
| 型号 | IBTRP450 | 数量 | 1 | ||||||||||||||||
| 计量单位 | 个 | 成交单价 | 195500.00 元 | ||||||||||||||||
| 成交供应商 | 沈阳麦科诺科技有限公司 | 保修年限 | 3年 | ||||||||||||||||
| 技术指标 | 1、极限真空度：≤4.0x10-5Pa (经烘烤除气后)； 2、系统从大气开始抽气，30分钟可达到6.6x10-4Pa； 3、真空腔体：直径≥15"腔，带有4"观察视窗，支持≥3套2"阴极； 4、单探头膜厚监测仪1套； 5、腔门保护，腔门的观察视窗需配套遮板，可双向移动，用于保护观察视窗，避免被镀膜后导致不能清洗观看腔体内的工艺状况； 6、冷阴极离子源，使用气体为氩气/氧气/氮气/氢气/烷类气体，工作气压1.3×10-2Pa-2.7Pa, 离子源具有清洗功能功能； 7、样品台：直径100mm不锈钢样品台，最高可加热到≥600摄氏度，加热单元的引线跟真空环境完全隔离，PID精确控温； 8、样品台旋转通过步进电机+磁流体控制，样品台挡板的控制采用旋转气缸+磁流体控制； 9、工艺气路：3路气体，响应配套3个质量流量控制器； 10、真空泵：≥700L/s抽速脂润滑分子泵+9L机械泵+电动插板兼节流阀，系统通过PLC控制实现工艺腔体的全自动压力调节，快速稳定； 11、系统采用PLC+触摸屏控制方式，设定配方工艺一键式全自动镀膜方式，真空抽气、取样、关机一键式操作方式； 12、铝型材欧标包裹一体式台架； 13、配套循环水冷却器和空气压缩机。 | ||||||||||||||||||
| 安装及售后要求 | 有专业安装培训工程师；原厂原装，售后服务标准与该产品出厂市场标准服务一致；原厂或供应商保修3年；原厂售后、技术支持，24小时响应。 | ||||||||||||||||||
| 附件 | 无 | ||||||||||||||||||
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