【招标公告】全自动薄膜沉积设备竞价项目竞价公告

所属地区:广东深圳市 发布日期:2023-11-14

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基本信息

地区 广东 深圳市 采购单位 华南理工大学
招标代理机构 项目名称 全自动薄膜沉积设备
采购联系人 *** 采购电话 ***
一、采购需求信息
设备品目类别 真空获得设备 设备用途 科研
项目号 HW2023000528 是否批量报价 总价最低成交
竞价开始时间 2023-11-13 09:05:35 竞价结束时间 2023-11-15 09:05:00
交货时间 合同签订后30天 交货地点 华南理工大学五山校区
产品类型 ******
结算货币 人民币
贷款支付方式 2、预付30%-40%,剩余部分验收合格后一次性付清。

二、全自动薄膜沉积设备
商品名称 全自动薄膜沉积设备 数量 1
品牌/厂家 沈阳麦科诺 参考型号 IBTRP450
计量单位 本商品预算单价(元) ******
保修年限 3年
技术指标
1、极限真空度:≤4.0x10-5Pa (经烘烤除气后);
2、系统从大气开始抽气,30分钟可达到6.6x10-4Pa;
3、真空腔体:直径≥15"腔,带有4"观察视窗,支持≥3套2"阴极;
4、单探头膜厚监测仪1套;
5、腔门保护,腔门的观察视窗需配套遮板,可双向移动,用于保护观察视窗,避免被镀膜后导致不能清洗观看腔体内的工艺状况;
6、冷阴极离子源,使用气体为氩气/氧气/氮气/氢气/烷类气体,工作气压1.3×10-2Pa-2.7Pa, 离子源具有清洗功能功能;
7、样品台:直径100mm不锈钢样品台,最高可加热到≥600摄氏度,加热单元的引线跟真空环境完全隔离,PID精确控温;
8、样品台旋转通过步进电机+磁流体控制,样品台挡板的控制采用旋转气缸+磁流体控制;
9、工艺气路:3路气体,响应配套3个质量流量控制器;
10、真空泵:≥700L/s抽速脂润滑分子泵+9L机械泵+电动插板兼节流阀,系统通过PLC控制实现工艺腔体的全自动压力调节,快速稳定;
11、系统采用PLC+触摸屏控制方式,设定配方工艺一键式全自动镀膜方式,真空抽气、取样、关机一键式操作方式;
12、铝型材欧标包裹一体式台架;
13、配套循环水冷却器和空气压缩机。
安装及售后要求
有专业安装培训工程师;原厂原装,售后服务标准与该产品出厂市场标准服务一致;原厂或供应商保修3年;原厂售后、技术支持,24小时响应。
附件

供应商报价须知
1.本系统将向成交供应商收取成交金额的0.5%作为技术服务费;
    请成交供应商在参与项目竞价完成后及时登录系统,务必在项目成交后5个工作日内点击“操作”确认成交并缴纳平台使用服务费。
   (特别提醒: 超过5个工作日逾期未支付平台服务费用,视为自动放弃成交结果!)
2.必须提供原装原厂新货品;
3.为防止恶意控制价格,在网上竞价结果公布前,不允许任何供应商向厂家或总代理商报备;
4.“参考型号”仅供参考,如供应商提供不同型号产品,须注明提供型号,并上传相关材料证明可达到用户所需的功能,否则作无效报价;
5.本系统预算仅供参考,采购人不能支付的超预算报价,作无效报价处理;
6.一般以人民币报价的项目,必须含税;以外币报价的项目,必须按照CIF广州港/CIP广州机场/DAP华南理工大学进行报价;如项目有特殊说明的从其说明;
7.定制类项目竞价完毕后,如用户单位如需要提供样品,竞价单位则必须要提供,因此,报价时必须考虑;
8.空调、监控等强、弱电安装项目,竞价单位必须具有相关安装资质的技术人员(并能提供相关证明材料),严禁无证上岗;
9.供货完毕后,提供购销类发票(非工程类发票或服务类发票)给用户单位。

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